マスフローコントローラー 1SLM-アルゴン C1005

Name: マスフローコントローラー 1SLM-アルゴン C1005
SKU: 5083983451
Price: 46732 JPY
Availability: InStock
Rating: 4.8 (17192 reviews)

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46,732 円

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マスフローコントローラー 1SLM-アルゴン C1005の詳細情報

●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
●フルスケール流量：1SLM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS(精度保証範囲15～35度)
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号(0～5VDC)
●バルブ形式：N／Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa(G)
●外部リークレート：1*10^-7Pa・m3／sec(He)以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1／4in.SWL相当
●電源：+15VDC±5％ 60mA、-15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ：127*25.5*100mm
●事業者向け商品です。
リニューアルに伴い、パッケージ・内容等予告なく変更する場合がございます。予めご了承ください。
広告文責：グループ株式会社
050-5212-8316
ブランド名:ノーブランド
メーカー型番:C1005

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